用于真空干燥設(shè)備的真空系統(tǒng)經(jīng)常會出現(xiàn)上述引起真空泵損壞的現(xiàn)象。因為真空干燥處理的目的就是為了排除水蒸氣。另外，被干燥的材料或產(chǎn)品在干燥前的儲運及制造過程中以及真空罐本身在敞口期間，難免帶進不少粉塵和顆粒狀雜質(zhì)。在真空系統(tǒng)處于高壓力抽氣階段時，這些雜質(zhì)有可能被湍流狀氣流帶進真空泵的泵腔內(nèi)。

為了避免出現(xiàn)由于上述原因而導(dǎo)致機械真空泵損壞，除了要求在工藝過程中盡量使真空系統(tǒng)清潔外，可在真空泵的進氣口安裝過濾網(wǎng)，阻擋從進氣口可能進入到泵腔的雜質(zhì)污物。在泵的進氣口處設(shè)置捕污腔，防止萬一泵進氣口的網(wǎng)破壞或別的原因使污物進入進氣口，也只能落在捕污腔中，而不會進入到真空泵腔內(nèi)。

為防止泵油中的粉塵、顆粒物質(zhì)隨泵油一起進入泵腔，對某些工藝過程，在泵運轉(zhuǎn)過程中應(yīng)設(shè)有連續(xù)泵油過濾裝置。灰塵、雜質(zhì)及被污染的油沉入主油箱底部后，通過回油管流入副油箱經(jīng)過分離、沉淀，乳化后的油、水、灰塵和雜質(zhì)沉入副油箱底部由排放閥定期放出，而相對干凈的油則由設(shè)于副油箱中上部的過濾器過濾后經(jīng)進油管進入分油腔后供給端蓋和泵腔工作。

過濾器內(nèi)的過濾芯在油經(jīng)過時擋住了機械污染物，凈化了泵油。在過濾器上常常設(shè)置壓力表以顯示過濾器是否堵塞。當(dāng)壓力增加，油不能正常流動時，即為過濾器堵塞，應(yīng)更換或清洗過濾芯。

旋片式真空泵一般每周檢查一下油量。換油的時間間隔依工作條件而定。一般因油潤滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力上升時，就需要更換油了。